聚脂膜衬底上的类金刚石薄膜

• 作者: 吴正龙 吴瑜光 张通和 王平 覃礼钊
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 聚脂膜 XPS 硬度
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学者风采
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2005.01.012

摘要

X光电子能谱和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在聚脂膜(PET)表面注入或沉积C,可形成类金刚石(DLC)薄膜.根据C1s XPS谱可直接计算出DLC中sp3键所占比例.沉积法生长的DLC中sp3键所占比例明显高于注入法.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量级,大大改善了PET的性质.对DLC膜中的碳氧化合物污染进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0
2	王平	北京师范大学分析测试中心	43	408	10.0	19.0
3	覃礼钊	北京师范大学分析测试中心	9	59	4.0	7.0