采用真空电弧源镀制纳米TiO2薄膜研究

• 作者: 周友苏 张立珊
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 阴极电弧放电 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TG174.444
• 字数: 1952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2005.01.004

摘要

在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了TiO2薄膜.对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究.X射线衍射结构分析结果显示TiO2薄膜主要以锐钛矿相为主及少量的金红石相.对TiO2薄膜的物理性质、化学性质进行了初步检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周友苏	北京联合大学机电学院	7	31	3.0	5.0
2	张立珊	北京联合大学机电学院	8	19	3.0	4.0