基于溶胶-凝胶技术的PZT厚膜快速成膜研究

• 作者: 褚家如 陈超 鲁健
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Pb(Zro.53,Ti0.47)O3 铁电薄膜 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2386字
• 语种: 中文

摘要

采用快速成膜技术在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备了总厚度为2.56μm,结构致密且无裂纹的Pb(Zro.53,Ti0.47)O3铁电厚膜.研究了快速成膜技术中热分解温度对薄膜结晶取向的影响,分析了在相同退火条件下,分别采用不同热分解温度制备得到的薄膜的结晶状况.X射线衍射分析表明,采用350℃热分解温度得到的薄膜为单一钙钛矿相结构,且沿(100)晶向强烈取向;薄膜断面的扫描电子显微镜照片表明,该薄膜结构致密,晶粒呈现明显的柱状生长;薄膜的电学性能测试结果显示,薄膜的相对介电常数高达819,剩余极化为15 μC/cm2,矫顽场强为39 kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈超	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	46	435	13.0	19.0
2	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
3	鲁健	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	125	6.0	11.0