XPS表征类金刚石膜探讨

• 作者: 吴正龙 张旭 覃礼钊
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 类金刚石 sp3组分 sp2组分 XPS
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.06.006

摘要

介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴正龙	北京师范大学分析测试中心	41	276	7.0	15.0
2	张旭	北京师范大学低能核物理研究所	37	208	8.0	13.0
3	覃礼钊	北京师范大学分析测试中心	9	59	4.0	7.0