气敏薄膜表面吸附结合能的宏观测量方法

• 作者: 邢建平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 响应时间 吸附结合能 气敏 测量
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 573-575
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 2321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.03.033

摘要

在采用溅射方法制备的ZnO、SnO2/CeO2纳米平面气敏薄膜实验基础上,总结了气敏薄膜响应时间和恢复时间τc的宏观测量的特征时间次方规律.显微物理化学特性对研究气敏薄膜是十分必要却难以由微观直接测量获得,我们通过上述实验结果与气敏表面反应和表面吸附理论相结合,间接测量了气敏表面吸附结合能Ea这一微观特性,从而表明可以用宏观测量方法研究气敏薄膜的一些微观特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢建平	山东大学信息科学与工程学院	42	177	6.0	11.0