强流脉冲离子束制备功能膜研究进展

• 作者: 姚俊 张罡 杨明海 杨曦
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 强流脉冲离子束 碳离子加速器 沉积膜层
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 所属期刊栏目: 新技术
• 页码范围: 217-219
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2005.z2.069

摘要

强流脉冲离子束在离子能量密度达到5J/cm2的条件下,辐照靶材表面形成二次烧蚀等离子体,可以在基材表面沉积与靶材化学成分一致性良好的膜层.评述了近年强流脉冲离子束沉积功能膜的研究进展,为进一步进行膜层沉积机理和工艺研究提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张罡	沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室	104	425	11.0	13.0
2	姚俊	沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室	55	291	10.0	13.0
3	杨明海	沈阳理工大学中俄联合高能束流实验室	16	56	5.0	6.0
4	杨曦	华中科技大学机械科学与工程学院	17	181	6.0	13.0