溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究

• 作者: 张卫华 李莺 赵高扬
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: BST 溶胶-凝胶 热处理工艺 XRD衍射分析
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 有色金属的热处理与表面工程
• 页码范围: 266-269
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 1990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2005.z1.062

摘要

采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氯化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba0.8Sr0.2TiO3溶胶,利用提拉法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构.结果表明:热处理温度在600℃以上时,BST薄膜形成了较为完整的ABO3钙钛矿结构,且随热处理温度升高,热处理时间的延长,晶体生长沿(110)的取向性越好,结晶状况明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
3	李莺	西安理工大学材料科学与工程学院	2	15	2.0	2.0