一种新型可调谐光栅的制作工艺

• 作者: 徐晓刚 郑川 高文秀
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅橡胶薄膜 微机电系统 光栅常数可变光栅
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 126-128,138
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.1|TN214
• 字数: 2770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.03.007

摘要

基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺.经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高文秀	厦门大学纳米工程技术研究中心	9	35	4.0	5.0
2	郑川	厦门大学物理系	2	7	2.0	2.0
3	徐晓刚	厦门大学机电系	2	7	2.0	2.0