极紫外光刻真空工件台技术研究

• 作者: 朱涛 李艳秋
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光刻机 工件台 真空 控制
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5304字
• 语种: 中文

摘要

在极紫外光刻系统中,真空工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位和扫描同步性能是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素.结合极紫外光刻机的工作原理和发展现状,论述了极紫外光刻机真空工件台系统的特征、组成及其关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱涛	中国科学院电工研究所	27	132	6.0	10.0
2	李艳秋	中国科学院电工研究所	35	388	12.0	18.0