等离子体渗氮工艺自动控制系统方案与设计

• 作者: 何翔 孙奉娄 金文
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 等离子体渗氮 智能仪表 上位机 通信
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 工业控制
• 页码范围: 338-340,343
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4598.2005.04.014

摘要

针对等离子体渗氮工艺过程特殊,控制量变化复杂, 人为因素影响较大等情况.利用自行研制的大功率直流脉冲电源进行等离子体渗氮,在很大 程度上解决了物理参数与工艺参数的耦合问题,同时改善了灭弧性能,为渗氮工艺自动控制 提供了可能.因此,提出了一种利用智能仪表、上位机进行主从式控制等离子体渗氮工艺的 自动控制方案,实验结果表明:该渗氮工艺控制系统可以较好地实现渗氮工艺过程控制,提高了自动化水平,增强了工件渗氮效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙奉娄	中南民族大学等离子体研究所	76	434	13.0	15.0
2	何翔	中南民族大学等离子体研究所	62	386	11.0	15.0
3	金文	中国运载火箭技术研究院第十四研究所	1	2	1.0	1.0