离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

• 作者: 刘提将 周亮 朱靖 李之杰 潘正瑛 王月霞 臧亮坤 魏启
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 离子束辅助沉积 分子动力学模拟
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2233-2238
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 5523字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049

摘要

采用分子动力学(MD)模拟研究了离子束辅助沉积(1BAD)生长类金刚石(DLC)膜的物理过程.分别选C2分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子.改变Ar的入射能量和到达比(Ar/C),研究了它对DLC膜结构的影响.重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响.分析表明,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率,增加了合成薄膜的SP3键含量.研究结果和实验观察一致,并从合成机理上给出了一些定量解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李之杰	复旦大学现代物理研究所	24	42	3.0	5.0
3	潘正瑛	复旦大学现代物理研究所	4	80	3.0	4.0
4	周亮	复旦大学现代物理研究所	19	50	4.0	6.0
7	朱靖	复旦大学现代物理研究所	1	12	1.0	1.0
8	魏启	复旦大学现代物理研究所	1	12	1.0	1.0
9	王月霞	复旦大学现代物理研究所	4	39	2.0	4.0
10	臧亮坤	复旦大学现代物理研究所	1	12	1.0	1.0
11	刘提将	复旦大学现代物理研究所	1	12	1.0	1.0