非晶Co-Nb-Zr薄膜的纳米晶化及磁性

• 作者: 张怀武 文歧业 石玉 蒋向东
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Co基 纳米晶 软磁薄膜 晶化
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TG113.22|TG132.2
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.01.010

摘要

采用扫描式差热(DSC)分析、X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、梯度样品磁强计(AGM)和磁力显微镜(MFM),研究磁控溅射制备的Co80.8Nb14Zr5.2磁性薄膜,在485℃～550℃间的等温晶化行为以及快速纳米晶化30 s后的薄膜结构和磁性.结果表明,非晶薄膜的晶化温度在420℃～450℃,Avrami指数在1.17～1.39,晶化行为以一维形核长大为主.纳米晶Co-Nb-Zr薄膜的磁性能受晶粒大小和晶粒对非晶基体形成应力以及磁晶各向异性的共同影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张怀武	电子科技大学微电子与固体电子学院	294	2211	20.0	32.0
2	蒋向东	电子科技大学微电子与固体电子学院	34	154	6.0	10.0
3	石玉	电子科技大学微电子与固体电子学院	79	346	9.0	14.0
4	文歧业	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	22	2.0	4.0