薄膜金属腐蚀及相关工艺研究

• 作者: 张云生 李丙旺
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀液 金属腐蚀参数 薄膜集成电路 制作工艺
• 年，卷（期）: jcdltx_2005,（1）
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.2

摘要

本文以实验为基础，给出了各种金属的腐蚀液及其配比，得到了各种金属腐蚀参数，同时揭示了腐蚀过程中存在的问题及相关工艺对金属腐蚀的影响，并进行了分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丙旺		12	0	0.0	0.0
2	张云生		1	0	0.0	0.0