基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计

• 作者: 吴福全 孔伟金 李国华 郝殿中
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 软件 优化设计 偏光分束镜
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TP311.51|O484.4+1
• 字数: 2305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2005.01.012

摘要

根据Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计.总结了偏光镜设计时参考波长、入射角以及膜层数随波长的变化规律,给出了LaK2基底,ZrO2和SiO2为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案,为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据.