ST切型石英膜片的应力分析

• 作者: 何鹏举 王生楠 舒茂盛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ST切型石英膜片 SAW压力传感器 应力分析 有限元法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 430-432
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.02.057

摘要

通常石英膜片的应力分布是根据弹性力学薄板弯曲理论分析得到的,但所选模型及边界条件相对简单,不能满足实际工程的需要.文中的ST切型石英膜片的边界条件复杂,用弹性力学薄板弯曲理论是很难得出结果的,为此采用了有限元法对ST切型石英膜片进行应力分析,并根据其应力分布规律,得出合理安放SAW(表面波)谐振器的位置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何鹏举	西北工业大学自动化学院	56	503	13.0	20.0
2	王生楠	西北工业大学航空学院	61	324	10.0	14.0
3	舒茂盛	西北工业大学航空学院	1	4	1.0	1.0