MEMS器件建模与仿真分析方法研究

• 作者: 吕胜利 韩永志
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 宏模型 微梁 仿真
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 480-483
• 页数: 4页
• 分类号: O343.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2005.04.014

摘要

基于主振型叠加法和拉格朗日动力学方程,建立微机电系统多场耦合分析的宏模型.这一模型是由常微分方程组成的有限自由度系统,自由度较少,系统状态方程简单,显著地减少计算时间,为micro-electro-mechanical systems(MEMS)设计提供一种有效而准确的分析工具.算例表明,文中所提方法用于MEMS器件建模仿真分析是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕胜利	西北工业大学国防科技研究院	40	390	12.0	19.0
2	韩永志	西北工业大学国防科技研究院	5	122	4.0	5.0