一种新型体硅谐振加速度计

• 作者: 张嵘 贾玉斌 郝一龙
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 谐振激励和敏感 体硅工艺 频率漂移
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 281-286
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 2357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.012

摘要

设计了一种谐振加速度计.这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳.利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感.利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计,测试的灵敏度为27.3Hz/g,分辨率为167.8μg.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子研究所	46	716	15.0	25.0
2	张嵘	清华大学精密仪器系	63	721	15.0	25.0
3	贾玉斌	北京大学微电子研究所	11	151	7.0	11.0