准分子激光加工工艺参数优化

• 作者: 刘莹 李小兵 王强
• 来源期刊: 南昌大学学报（工科版）
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光加工 表面形貌参数 工艺参数优化
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0456.2005.01.001

摘要

本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓高度均方根值Rq.采用二次多项式拟合方法分析激光加工工艺参数对表面形貌的影响,即放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面轮廓高度均方根值Rq的影响进行拟合.结果表明,Rq值随着放大器电压、激光脉冲频率增大而增大,随激光扫描速度增大而减小,并且激光加工工艺参数对表面形貌的影响程度不同,由大到小依次为激光扫描速度、放大器电压、激光脉冲频率.并利用罚函数内点法寻优方法,在任意确定Rq条件下寻求工艺参数的最佳组合.因此,可以通过合理地选择工艺参数获得所需要的表面形貌,为表面微观形貌修饰提供了参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	李小兵	南昌大学机电工程学院	72	616	11.0	22.0
3	王强	南昌大学机电工程学院	16	209	8.0	14.0