球面旋涂光刻胶膜厚分布的数学模型

• 作者: 冯晓国 孙连春
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光刻 旋涂 球面
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 489-490,493
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 1656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.04.017

摘要

提出了球面旋涂微米级厚度光刻胶膜层薄化率公式及径向位置演变公式,并得到了膜厚分布的演变公式.与平面涂胶相比,球面涂胶离心力及重力分量是在不断的变化.根据平面旋涂运动方程及球面面形特征,给出了球面旋涂运动方程;结合流体层流的表面条件及不可压缩流体的质量连续方程,推导出了膜厚h及径向位置r对时间t的演变公式,并得到了在径向位置r处初始厚度为h0的膜厚演变的数学模型.通过对模型参数的分析可知,球面旋涂光刻胶应采用主从轴偏心旋涂,旋涂时工件的开口应朝向侧面(旋转轴水平).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯晓国		28	366	13.0	18.0
5	孙连春		6	65	4.0	6.0