有效控制AMC的化学过滤方案

• 作者: 王小兵 白晓清
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学过滤方案 AMC控制 吸附效率 吸附容量 化学过滤器实验台 Gigacheck Gigamonitor
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 4221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.12.017

摘要

AMC对微电子制程存在潜在严重危害并会导致成品率降低.将传统检测方法和Gigacheck或Gigamonitor相结合,会得到更多的AMC信息.化学过滤器是去除AMC的有效手段,评价化学过滤器的指标不仅要考察吸附效率、吸附容量等指标,还必须对化学过滤器整体进行测试,从而能够提供对特定的AMC有很强针对性和突出去除效果的化学过滤解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白晓清		2	3	1.0	1.0
2	王小兵		1	2	1.0	1.0