半导体微电子技术用贵金属材料的应用与发展

• 作者: 张永俐
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 金属材料 贵金属 半导体微电子技术
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 综合论述
• 页码范围: 49-57
• 页数: 9页
• 分类号: TG146.3
• 字数: 3855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2005.04.012

摘要

贵金属具有良好的化学稳定性,高电导率和热导率,特有的电学、磁学、光学等性能,是发展半导体微电子技术必不可少的材料.文章综述了半导体器件欧姆接触、线路和电极、金属化系统、半导体包封,以及化合物半导体、液体金属离子源等用贵金属材料的应用和发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永俐		11	119	6.0	10.0