母盘玻璃盘基的制作与工艺

• 作者: 周元大 高为彪
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘 表面粗糙度 平面度 盘基 光滑表面 精密光学 表面硬度 平行度 缺陷密度 基板
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 52-53
• 页数: 2页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要求达到Ra 低于1nm的指标。即我们称之为超光滑表面。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高为彪		1	0	0.0	0.0
2	周元大		1	0	0.0	0.0