用VTE方法在蓝宝石衬底上生长γ-LiAlO2薄膜

• 作者: 周圣明 徐军 李抒智 杨卫桥 邹军
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaN 气相传输平衡技术(VTE) γ-LiAlO2 蓝宝石
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 169-174
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.026

摘要

利用气相传输平衡技术(VTE)和后退火处理工艺在(0001)蓝宝石衬底上获得了高度[100]取向的γ-LiAlO2薄膜.X射线衍射表明是由单相的γ-LiAlO2所组成.此薄膜经850～900℃/120h空气中退火处理后显示出高度的[100]取向.这一实验结果意味着有望通过VTE方法制备用于GaN基器件外延生长的γ-LiAlO2(100)-Al2O3(0001)复合衬底.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	杨卫桥	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	138	6.0	11.0
3	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0
4	邹军	中国科学院上海光学精密机械研究所	14	71	5.0	7.0
5	李抒智	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	113	6.0	10.0