MEMS微传感器件IP库的建立方法

• 作者: 殷刚毅
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 等效电路宏模型 系统级 SPICE IP库
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 690-692,695
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TP15
• 字数: 2797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.03.058

摘要

为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元.本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证,最后通过我们自行开发的IP库单元建立接口软件对单元进行了封装与入库.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷刚毅	东南大学微电子中心	4	9	2.0	3.0