MOD法制备的Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的晶型结构及铁电性能

• 作者: 孙璟兰 孟祥建 褚君浩 马建华
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: PLZT薄膜 中间温度预退火 晶型结构 铁电性能
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 163-168
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.025

摘要

采用金属有机分解法(MOD)在LNO(100)/Si衬底上制备了Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3(PLZT)铁电薄膜.在薄膜的快速退火过程中,增加了一个中间温度预退火过程,并研究了该过程对薄膜晶型结构和铁电性能的影响.结果发现,中间温度预退火过程可以影响薄膜对晶型结构的选择.没有中间温度预退火过程的薄膜,显示出(100)择优取向;而经中间温度预退火的薄膜则表现为随机取向.对薄膜铁电性能的研究表明,没有中间温度预退火过程的薄膜的铁电性能较差,经380℃预退火的薄膜显示出最佳的铁电性能.晶型结构取向和缺陷是影响PLZT薄膜铁电性能的两个主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马建华	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	26	105	6.0	9.0
2	褚君浩	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	103	650	13.0	22.0
3	孙璟兰	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	13	57	4.0	7.0
4	孟祥建	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	15	65	5.0	7.0