基于输入解耦的6DOF磁悬浮平台悬浮高度的H∞控制

• 作者: 刘德君 赵希梅 郭庆鼎
• 来源期刊: 电工技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 6DOF磁悬浮平台 参数摄动 输入解耦 鲁棒控制
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: TM921.541
• 字数: 1241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-6753.2005.11.015

摘要

介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台--六自由度(6DOF)磁悬浮平台.针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复杂系统,提出一种先在输入解耦基础上,再对系统参数扰动采取H∞鲁棒控制方法,最后实现对位置、摆角的闭环控制,该方法易于工程实现和构成闭环系统.仿真结果表明此控制方案有较好的动态、静态特性及鲁棒性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭庆鼎	沈阳工业大学电气工程学院	248	2792	28.0	40.0
2	刘德君	沈阳工业大学电气工程学院	8	87	6.0	8.0
4	赵希梅	沈阳工业大学电气工程学院	121	627	15.0	22.0