用于微波滤波器的Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜

• 作者: 何明 周铁戈 方兰 王建伟 贾颖新 赵新杰 路昕 路荣涛 阎少林
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超导薄膜 Tl2Ba2CaCu2O8 表面电阻 微波滤波器
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 304-309
• 页数: 6页
• 分类号: TQ32
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2005.04.003

摘要

本文报导用磁控离子溅射和后热处理方法在LaAlO3(001)衬底上制作2英寸双面Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212) 超导薄膜的方法和薄膜的特性.XRD测试表明薄膜具有纯的Tl-2212相和c轴垂直于膜面的织构.衬底两侧薄膜的结晶形貌和超导电性均匀,超导转变温度Tc一般为105 K左右,液氮温度下临界电流密度Jc>2×106A/cm2,10GHz频率下表面电阻最小达到350μΩ,可满足超导微波滤波器实用的需要.