一种新型非致冷红外探测器

• 作者: 刘海涛
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外探测器 微悬臂梁 微电容
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 388-392
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 1340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.05.010

摘要

介绍一种基于标准硅工艺、采用电容读出方式微悬臂梁非制冷红外探测器的设计、制作及性能测试.用这两种热膨胀系数相差很大材料(氮化硅和铝)的薄膜做成的双材料微悬臂梁在红外辐射下,温度升高并发生弯曲.通过检测微悬臂梁和衬底形成的一个可变电容变化可以得知微悬臂梁的弯曲情况,从而可以探测红外辐射的信息.利用外部测试设备对单元探测器进行测试表明微悬臂梁对红外辐射有很高的响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘海涛	中国科学院上海技术物理研究所	121	805	17.0	22.0