氮-铟共掺杂ZnO薄膜的制备及表征

• 作者: 于伟东 张灿云 李效民 赵俊亮 边继明 高向东
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 超声喷雾热分解 N-In 共掺杂 光致发光
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 200-204
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.03.006

摘要

以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.采用X射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、塞贝克效应、光致发光谱等分析方法,研究了N-In共掺杂对所得ZnO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响规律.结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO薄膜的电学和光学性能发生明显改变.优化工艺条件下,所得ZnO基薄膜结构均匀致密,电阻率为 6.75×10-3 Ω·cm,并且在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,表明薄膜具有较理想的化学计量比和较高的光学质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于伟东		6	50	4.0	6.0
2	李效民		9	57	4.0	7.0
3	边继明		4	22	1.0	4.0
4	张灿云		3	22	1.0	3.0
5	赵俊亮		3	22	1.0	3.0