数字刀口检测技术

• 作者: 张均 张艳 张蓉竹 董军 蔡邦维
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 面形测量 球面镜 刀口检测法 数字刀口 定量分析
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: TP92
• 字数: 2177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.05.018

摘要

为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息.对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12°=532nm°.通过与干涉仪测得P-V值0.057相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡邦维	四川大学光电科学技术系	66	756	15.0	24.0
2	张艳	四川大学光电科学技术系	79	513	13.0	21.0
3	张蓉竹	四川大学光电科学技术系	107	573	10.0	20.0
4	董军	四川大学光电科学技术系	6	64	5.0	6.0
5	张均	四川大学光电科学技术系	6	57	4.0	6.0