硬质粒子扰动下铜电沉积研究

• 作者: 朱增伟 朱荻
• 来源期刊: 电化学
• 学科: 工学
• 关键词: 电沉积 电铸 旋转阴极 硬质粒子 铜
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 412-415
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3471.2005.04.011

摘要

使用常规旋转电极电沉积技术,引入陶瓷球等一类硬质粒子,在旋转电极的带动下,使陶瓷球不断磨擦和撞击阴极表面而实现电铸铜.对比酸性溶液电铸铜和碱性溶液电铸铜,发现硬质粒子在电沉积过程中能扰动离子的放电过程,并影响电铸层的组织结构.但由于二者放电机理不同,前者形成的电铸层表面布满尖状毛刺,而后者则表面尖刺消失,但脆性大.SEM和XRD测试表明,由碱性电铸液沉积的电铸铜层,表面光亮平整,晶粒致密,大小约为100～300 nm,其结晶形态接近无序取向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学特种加工研究中心	237	3580	30.0	43.0
2	朱增伟	南京航空航天大学特种加工研究中心	49	227	8.0	13.0