微接触印刷术--制备纳米器件的新技术

• 作者: 崔婧怡 王广龙 马莒生
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 微接触印刷术 弹性印章 聚二甲基硅氧烷 自组装膜
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 新技术
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 2913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.08.019

摘要

介绍了纳米结构制作的一种新方法--微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素.它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制作平面和曲面上的纳米–微米量级的精细结构.精确重复,工艺简单,对实验室条件要求不高,加工成本低,生产效率高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马莒生	清华大学材料科学与工程系电子材料与封装技术实验室	58	894	16.0	29.0
2	王广龙	清华大学材料科学与工程系电子材料与封装技术实验室	5	24	3.0	4.0
3	崔婧怡	清华大学材料科学与工程系电子材料与封装技术实验室	1	13	1.0	1.0