本征微晶硅薄膜和微晶硅电池的制备及其特性研究

• 作者: 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅 太阳电池
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.022

摘要

本文对VHF-PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究.电学测试结果给出制备薄膜的激活能为0.51eV,符合电池对材料的电学参数要求;拉曼散射谱测试结果计算得到样品的晶化率为63%;X射线衍射结果也证明材料晶化,同时(220)方向择优;首次在国内用VHF-PECVD方法制备出效率为5%的微晶硅电池(Jsc=21mA/cm2,Voc=0.46V,FF=51%,Area=0.253cm2).