高性能阴极荧光分析系统及其在氮化物半导体材料研究中的应用

• 作者: 张会珍 徐军 徐科 陈文雄 陈莉
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 阴极荧光谱仪 场发射环境扫描电镜 氮化物半导体材料
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2005.05.006

摘要

本文介绍由场发射环境扫描电镜和高性能阴极荧光谱仪构成的联合分析系统.该系统在图像质量、图像空间分辨、阴极荧光成像及光谱分析等方面具有优越的性能.利用这一系统对氮化物半导体材料的微观特征、器件结构和光学性能的相互关系进行研究,获得许多有意义的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文雄	北京大学物理学院电子显微镜实验室	11	48	4.0	6.0
2	徐军	北京大学物理学院电子显微镜实验室	44	285	10.0	15.0
3	张会珍	北京大学物理学院电子显微镜实验室	7	36	4.0	6.0
4	陈莉	北京大学物理学院电子显微镜实验室	40	391	11.0	18.0
5	徐科	北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心	2	4	1.0	2.0