激光干涉任意转角测量信号的获得及误差补偿技术

• 作者: 浦昭邦 赵辉 金增伟 陶卫
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉 信号获得 非线性 误差补偿
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 69-72,76
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.6
• 字数: 3284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.01.010

摘要

采用信号处理的方法对激光干涉测角系统的特性进行线性化处理,需要产生两路正交信号.采用空间互相垂直的两套干涉系统获得信号难免会使系统复杂、调整困难,因此提出了一种插值处理方法,可以利用测量得到的一路信号获得线性输出信号.输出信号的非线性误差较处理前大大减小了,但是无法满足高精度测量的要求.还提出了针对误差产生的原因进行的误差补偿技术.实验结果表明,提出的方法可以实现任意转角的高精度测量,光程差的测量误差小于±0.2μm,对应的转角测量误差为0.63″.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦	哈尔滨工业大学自动化测试与控制系	108	1776	24.0	36.0
2	赵辉	上海交通大学信息检测技术及仪器系	105	1032	17.0	29.0
3	陶卫	上海交通大学信息检测技术及仪器系	53	563	11.0	23.0
4	金增伟	上海交通大学信息检测技术及仪器系	4	16	3.0	4.0