金刚石薄膜残余应力的X射线透射测量法

• 作者: 冯惠平 朱宏喜 毛卫民
• 来源期刊: 物理测试
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 残余应力 X射线透射法
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.22
• 字数: 2989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0777.2005.06.008

摘要

用X射线衍射透射法测量了不同沉积工艺CVD自支撑金刚石薄膜的残余应力,并对应力测试结果进行初步分析.与常规法相比,透射法直接测量薄膜表面不同方向的正应变,计算出正应力值,不需要复杂的转换计算,测量过程简捷、准确,克服了常规法的不足,有利于推动薄膜残余应力的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫民	北京科技大学材料学院	351	4505	35.0	51.0
2	冯惠平	北京科技大学材料学院	37	535	12.0	22.0
3	朱宏喜	北京科技大学材料学院	5	63	4.0	5.0