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摘要:
推荐文章
NF3在Mn/MgO和Cr/MgO上的分解反应
三氟化氮
脱氟剂
氧化镁
分解反应
色谱-质谱联用法测定三氟化氮中痕量六氟化硫
质谱学
痕量六氟化硫气相色谱/质谱测定
选择离子监测
三氟化氮(NF3)
溶胶凝胶法制备Al2O3及NF3分解反应
Al2O3
制备
溶胶凝胶法
NF3分解反应
色谱/质谱联用法测定NF3中微量CF4
色谱/质谱 选择离子监测 NF3 CF4
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 SEMI C3.39-0999三氟化氮(NF3)标准
来源期刊 舰船防化 学科 化学
关键词 三氟化氮 检测极限 仪器参数 纯度标准 带热导池检测器 气相色谱法
年,卷(期) 2005,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 33-37
页数 5页 分类号 O657.7
字数 语种 中文
DOI
五维指标
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2005(0)
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研究主题发展历程
节点文献
三氟化氮
检测极限
仪器参数
纯度标准
带热导池检测器
气相色谱法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
舰船防化
双月刊
大16开
河北省邯郸市1号信箱
1975
chi
出版文献量(篇)
1169
总下载数(次)
21
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