CdTe和CdZnTe室温探测器钝化方法概述

• 作者: 赵晓燕 鲁正雄
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: CdTe CdZnTe 室温探测器 钝化
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 324-327
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 3467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.04.014

摘要

CdTe和CdZnTe是X射线和γ射线探测器最理想的材料.钝化可以降低CdTe和CdZnTe的表面漏电流,提高其能量分辨率.本文综述了CdTe和CdZnTe的H2O2湿法钝化方法和热氧化、氧离子钝化、氧离子/SiNx钝化等干法钝化方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵晓燕		3	4	1.0	2.0
2	鲁正雄		19	80	5.0	7.0