二氧化锆薄膜制备及其特性测量

• 作者: 任树喜 张义炳 徐国庆 马洪良
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束蒸发 氧化锆(ZrO2)薄膜 退火温度 透射率
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 222-224
• 页数: 3页
• 分类号: O43
• 字数: 1906字
• 语种: 中文

摘要

在室温下采用电子束蒸发的办法制备二氧化锆(ZrO2)薄膜.借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了薄膜的透射率和表面结构.同时研究了不同退火温度对薄膜物理性质的影响.在退火温度700,900,1 050℃时显微镜图像没有明显差别.随着退火温度的变大,薄膜表面的晶粒的直径逐渐变大,但粒径均在25 nm左右.当退火温度达到1 150℃时,粒径变得很大(约400 nm).在700,900,1 050℃下退火后的薄膜的X射线衍射谱没有明显差别.在退火温度1 150℃下出现了较高的峰,研究结果表明:退火温度的增加,大量大粒径二氧化锆单晶晶粒出现,使得二氧化锆薄膜的漏电流增大,从而导致其热稳定性变差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张义炳	上海大学物理系	3	15	2.0	3.0
2	任树喜	上海大学物理系	2	9	1.0	2.0
3	马洪良	上海大学物理系	27	72	5.0	7.0
4	徐国庆	上海大学物理系	2	10	2.0	2.0