等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算

• 作者: 刘燕萍 徐晋勇 徐重 王建忠 隗晓云 高原
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子温度 辉光放电 发射光谱 光谱分析
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 300-304
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 3464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2005.04.012

摘要

用SⅡ-Ⅳ型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度进行了测量,获得一系列光谱谱线.通过对玻尔兹曼方程式的计算,得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子温度.分析了工件电压、工作气压对电子温度的影响.结果表明:在本工艺条件下,电子温度随着工件电压的升高,先减小后增大,然后又减小,并随着工作气压的增大而单调增大.工作气压的变化较工件电压的变化对电子温度的影响大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重	太原理工大学表面工程研究所	161	2461	24.0	39.0
2	高原	太原理工大学表面工程研究所	64	555	13.0	19.0
3	王建忠	太原理工大学表面工程研究所	21	155	8.0	10.0
4	隗晓云	太原理工大学表面工程研究所	18	135	7.0	10.0
5	刘燕萍	太原理工大学表面工程研究所	55	298	9.0	12.0
6	徐晋勇	太原理工大学表面工程研究所	36	248	9.0	12.0