用高分辨率快速成形系统制作细微结构

• 作者: 卢秉恒 胥光申 赵万华
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高分辨率 光固化 制作 细微结构 制作参数
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 82-85
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 3397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2005.09.017

摘要

针对制作参数对制作分辨率的影响,利用高分辨率激光快速成形系统进行了试验研究.研究表明,制作时激光功率与光束扫描速度的比值越小,则制作的单壁结构厚度越小.采用准确的线宽补偿、较小的激光功率及具有较高临界曝光量的光敏树脂,可制作出具有较小槽宽尺寸的细微槽状结构.制作出了壁厚为0.011 mm的单壁结构及槽宽为0.034 mm的槽状结构.试验结果表明,该快速成形系统有很高的制作分辨率,具有制作扫描平面内细微结构的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学先进制造技术研究所	387	5973	36.0	56.0
2	赵万华	西安交通大学先进制造技术研究所	147	2284	28.0	38.0
3	胥光申	西安交通大学先进制造技术研究所	4	37	3.0	4.0