单晶硅微构件力学特性片上测试系统

• 作者: 吴昊 孟永钢 温诗铸 苏才钧 郭占社
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 单晶硅 片上测试 静电梳状驱动器 疲劳
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 456-459
• 页数: 4页
• 分类号: TB302.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2005.04.010

摘要

设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统.详细介绍测试系统的结构和工作原理.对静电梳状驱动器的驱动电压-驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算.利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比.结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昊	清华大学摩擦学国家重点实验室	33	528	10.0	22.0
2	温诗铸	清华大学摩擦学国家重点实验室	156	3364	28.0	50.0
3	苏才钧	清华大学摩擦学国家重点实验室	7	114	5.0	7.0
4	郭占社	清华大学摩擦学国家重点实验室	8	127	6.0	8.0
5	孟永钢	清华大学摩擦学国家重点实验室	94	907	17.0	24.0