深亚微米IC超浅结的SIMS表征

• 作者: 王家楫 瞿欣
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 无机质谱
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: O657.63
• 字数: 2083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2997.2005.z1.007

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家楫	复旦大学材料科学系	25	114	6.0	9.0
2	瞿欣	复旦大学材料科学系	2	0	0.0	0.0