非磁控条件下真空开关真空度测量的原理及应用

• 作者: 杨圣 程律莎
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空度 真空开关 等离子体
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TN107
• 字数: 1819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.02.016

摘要

摈弃传统真空开关管内真空度测量所必需的磁场条件,在真空开关触头两端加足够高电压,导致气体分子在真空极化的基础上完全电离形成载流子信号.经研究表明,此载流子信号与真空开关管内真空度有关.通过理论建模与实验比较,验证该理论的可应用性.与常用的磁控法测量真空开关的真空度相比,该方法具有易实现,准确度高的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨圣	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	35	208	6.0	13.0
2	程律莎	中国科学技术大学精密机械及精密仪器系	1	1	1.0	1.0