压力传感器的开发动向

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 小型化 家电 应用范围 领域 半导体 实用化 高可靠 廉价 医疗
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i001
• 页数: 1页
• 分类号: TN912.2

摘要

半导体压力传感器的实用化，不仅使压力传感器加快高精度化、高可靠化的步伐，而且还可望实现小型化和廉价化，并使应用范围拓宽到医疗、汽车及家电等领域。