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摘要:
[篇名] ANALYSIS OF LOCAL DEFECTS IN SURFACE FILMS ON COMMERCIAL ALLOYS USING CONDUCTIVE ATOMIC FORCE MICROSCOPY (C-AFM), [篇名] Annealing-Induced Properties of Al-N-M (M: Co, Fe) Thin Films, [篇名] Anodic oscillatory behavior and film formation on indium phosphide, [篇名] Bias-temperature instabilities of polysilicon gate HfO{sub}2 MOSFETs, [ 篇名] Commercialization of a Silicon Nitridc Co-Fire Through (SINCOFT) process for manufacturing high efficiency mono-crystalline silicon solar cells, [篇名] Copper CMP for dual damascene technology some considerations on the mechanism of Cu removal.
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文献信息
篇名 钝化
来源期刊 表面工程:英文版 学科 工学
关键词 被动膜 钝化处理 局部腐蚀 控制方法
年,卷(期) 2005,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 42-43
页数 2页 分类号 TG174.3
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研究主题发展历程
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被动膜
钝化处理
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控制方法
研究起点
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期刊影响力
表面工程:英文版
双月刊
北京市百万庄大街22号
出版文献量(篇)
192
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