分子动力学在研究激光蚀除机制中的应用进展

• 作者: 刘璇 王扬 韩荣第
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学模拟 激光蚀除 势函数 金属 半导体材料 有机体
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 5-14
• 页数: 10页
• 分类号: TN249
• 字数: 6332字
• 语种: 中文

摘要

介绍了分子动力学模拟的基本原理,并对国内外采用其研究金属、半导体、有机体等材料的激光蚀除机制的现状以及所涉及的关键技术进行了详尽的综述,最后指出了分子动力学模拟激光蚀除的进一步研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王扬	哈尔滨工业大学机械制造及自动化系	110	956	19.0	24.0
2	韩荣第	哈尔滨工业大学机械制造及自动化系	64	737	17.0	23.0
3	刘璇	哈尔滨工业大学机械制造及自动化系	8	78	6.0	8.0