WC-Co硬质合金基体上高附着力金刚石薄膜的制备

• 作者: 姚宁 张兵临 杨仕娥 樊志琴 鲁占灵
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 中间层 形核密度 附着力
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 235-238
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TG135
• 字数: 1895字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.038

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在WC-Co硬质合金基体上制备金刚石膜,研究了TiNx中间层的引入对金刚石薄膜质量及其附着性能的影响.结果表明,在酸浸蚀脱钴处理的基础上,通过预沉积氮含量呈梯度变化的TiNx中间过渡层,可在硬质合金基体上制备出高质量的金刚石薄膜;压痕法测试其临界载荷达1000N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学材料物理教育部重点实验室	25	166	8.0	11.0
4	杨仕娥	郑州大学材料物理教育部重点实验室	68	513	12.0	18.0
5	樊志琴	郑州大学材料物理教育部重点实验室	9	77	6.0	8.0