软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制

• 作者: 傅绍军 刘颖 徐向东 洪义麟 王占山
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线激光 Ronchi光栅 紫外光刻 离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: O434|TN247
• 字数: 3037字
• 语种: 中文

摘要

介绍了莫尔光栅制作的主要方法和进展.利用紫外光刻、离子束刻蚀技术制作自支撑金莫尔光栅,讨论了金膜厚度要求、电镀金膜质量和光栅占空比控制等影响莫尔光栅质量的关键技术问题.实验结果表明,通过设计较小占空比的光栅掩模、紫外光刻时擦除基片边缘的光刻胶棱以消除衍射效应、离子束刻蚀时基片倾斜一定的角度旋转刻蚀等措施可以改善自支撑金莫尔光栅的占空比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
3	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
4	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
5	王占山	同济大学物理系	92	640	14.0	19.0
8	傅绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	13	227	9.0	13.0