气体配比对硼掺杂碳纳米管生长特性的影响

• 作者: 刘飞 巴德纯 曹培江 梁吉 王志 蔺增
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 硼掺杂 等离子体化学气相沉积技术 气体配比
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 350-354
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2587字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-8827.2005.04.011

摘要

采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4 、B2H6和H2为气源,在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管.研究了不同B2H6/CH4气体配比对碳纳米管生长特性的影响.使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组分进行表征.结果表明:B2H6对纳米管的生长具有较大影响.气源中含有少量的B2H6就会破坏纳米管的定向生长,使纳米管变得弯曲;随着气源中B2H6比例的增加,纳米管结构从中空结构转变为类竹节结构,多壁管外径由60 nm～90 nm增大至200 nm～250 nm,管壁由10 nm～20 nm增厚至70 nm～100 nm,表面变得粗糙,同时纳米管的生长速度降低;纳米管中的B/C原子比随着B2H6比例的增大而增大,当B2H6/CH4体积配比为2:1时B/C原子比增至28:72.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志	清华大学机械工程系	104	937	15.0	28.0
3	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
4	蔺增	东北大学真空与流体工程研究中心	40	160	7.0	9.0
5	梁吉	清华大学机械工程系	93	1626	23.0	35.0
6	刘飞	中国科学院物理研究所	71	509	12.0	19.0
9	曹培江	中国科学院物理研究所	5	11	2.0	3.0